英國肖氏露點儀公司關于露點濕度微量水分析儀各種原理和優缺點總結

儀器測量原理

濕度測量儀器從原理上可分為冷鏡式、*吸收電解式、Al2O3電容式、薄膜電容式、電阻式、干濕球、機械式。其中*吸收電解式微水儀、Al2O3電容式露點儀一般用于低濕范圍的測量，而電阻式、干濕球、機械式濕度計只能用于相對濕度的測量，冷鏡式、薄膜電容式濕度計則不僅能用于低濕的測量，還能用于中高濕，即相對濕度的測量。上述各種原理的儀器各有其優缺點。其中冷鏡式露點儀是*準確、*可靠、*基本的測量方法，被廣泛地用于標準傳遞，但其缺點是價格比較昂貴，并需要有經驗的人操作及保養。

1.1冷鏡式露點儀
1.1.1測量原理英國肖氏露點儀公司關于露點濕度微量水分析儀各種原理和優缺點總結
被測濕氣進入露點測量室時掠過冷鏡面，當鏡面溫度高于濕氣的露點溫度時，鏡面呈干燥狀態，此時光電檢露裝置中光源發出的光照在鏡面上，幾乎*反射，由光電傳感器感應到并輸出光電信號，經控制回路比較、放大、驅動熱電泵，對鏡面致冷。當鏡面溫度降至濕氣露點溫度時，鏡面上開始結露(霜)，光照在鏡面上出現漫反射，光電傳感器感應到的反射信號隨之減弱，此變化經控制回路比較、放大后調節熱電泵激勵，使其制冷功率適當減小，*后，鏡面溫度保持在樣氣露點溫度上。鏡面溫度由一緊貼在冷鏡面下方的鉑電阻溫度傳感器感應，并顯示在顯示窗上。

1.1.2結構
1.1.2.1鏡面
鏡面應憎水，具有良好的導熱性，還要耐磨、耐腐蝕，光學性能好。在過去曾使用金做鏡面，目前則主要使用銠做鏡面。
1.1.2.2鏡面致冷
在過去曾使用過乙mi蒸發、機械致冷、液化氣體或干冰致冷、壓縮空氣致冷，目前*常用的則是熱電致冷或熱電與機械致冷相結合(露點低于-60℃)。在本文中著重介紹熱電致冷。

1.1.2.3測溫裝置
目前絕大部分采用四線制鉑電阻測溫。鉑電阻感溫元件在相當寬的溫度范圍內阻值和溫度近于線性關系，精度高，穩定性好，輸出信號較強，便于數字顯示。1.1.2.4檢測系統
光電檢測技術已有幾十年的歷史，比較成熟，但其缺點是不能區分過冷水和霜。
1.1.3使用注意事項
       1.1.3.1過冷水與霜
在0~-20℃這一范圍內，鏡面上極易形成過冷水，由于冰面和水面上的飽和水汽壓不同，因此假如在鏡面上形成過冷水，測得的數值要低于霜點，溫度不同，差別也不同。例如霜點為-10℃時，對應的過冷水的溫度為-11.23℃。因此在這一溫度段要非常小心。若儀器配有內窺鏡，可通過內窺鏡進行觀察區分。目前大部分儀器都有test的功能，即測試其*低致冷能力，此時可先使用test功能，使鏡面溫度低于-20℃，確保鏡面上形成霜，然后再進行正式測量。
1.1.3.2開爾文效應
曲面上的飽和水汽壓與平面上的情況是不同的。當露在金屬表面上形成時，由于表面張力的作用，使平衡水汽壓，即彎曲水面的飽和水汽壓升高，這種影響稱為開爾文效應。由于開爾文效應使得到的露點溫度低于真正的被測氣體的露點溫度。
1.1.3.2拉烏爾效應
1.1.3.3鏡面污染
一是拉烏爾效應，二是改變鏡面本底散射水平。拉烏爾效應主要是由水溶性物質造成的。如果被測氣體中這種物質(一般是可溶性鹽類)，則鏡面提前結露，使測量結果產生正偏差。若污染物是不溶于水的微粒，如灰塵等，則會增加本底的散射水平，從而使光電露點儀發生零點漂移。
1.1.4應用范圍
露點儀的測量范圍較廣，目前英國MICHELL及瑞士MBW公司開發的一系列露點儀的測量范圍已達到-95℃~70℃，可以滿足絕大多數的測量要求。
1.1.5優缺點
優點：屬基本測量，測量準確，并且儀器比較穩定無漂移，目前準確度*高的儀器可達±0.1℃。
缺點：價格較高，對操作人員的要求較高，并需進行維護。對污染物敏感。在-20℃~0℃范圍內有時會有過冷水存在，因此要特別小心區分過冷水和霜。
1.2*吸收電解法微量水份儀
1.2.1測量原理
用連續取樣的方法，使氣樣流經一個特殊結構的電解池，其水分被作為吸濕劑的五氧化二磷層吸收，并被電解為氫氣和氧氣排出，而五氧化二磷得以再生。反應過程可表示為：
P2O5+H2O=2HPO3
2HPO3=H2+1/2O2+P2O5
合并(1)、(2)得
2H2O=2H2+O2
當吸收和電解達成平衡后，進入電解池的水分全部被五氧化二磷膜層吸收，并全部被電解。
由于鉑電極的催化作用，水的電解反應系一可逆過程，所以當被測氣樣為氫氣、氧氣或含有足量的氫氧時，平衡向左移動，已經電解生成的氫和氧中有一部分復合生成水，繼而又進行二次電解，使總的電解電流值偏高，此即“氫效應”和“氧效應”，或統稱“復合效應”。實驗表明，使用該儀器測定這一類氣樣的含水量時，讀數將偏高幾個至十幾個ppmv，但此偏差集中反應在本底值上，故可以扣除。
1.2.2結構
儀器由氣路系統和電路兩部分組成，氣路系統主要包括電解池和氣路控制部分。英國肖氏露點儀公司關于露點濕度微量水分析儀各種原理和優缺點總結
1.2.2.1電解池
在玻璃管內部，兩根鉑電極繞成雙螺旋形，極間均勻地涂敷五氧化二磷膜作為吸濕劑。在規定的測量條件下，這種內繞式結構可以保證對進入池內的水分全部吸收和電解。玻璃池壁利于五氧化二磷涂層均勻。由于鉑具有使生成的氫和氧，尤其是富氫的氣體再次發生反應生成水的作用，因此有些公司采用銠來代替鉑。
對于干燥的五氧化二磷涂層，當通入“優良干燥”的氣樣，并在電極上施加一適當的直流電壓時，電路中將產生一個不大的電流-本底值。本底值的大小僅與電解池結構、涂層狀況、溫度及氣樣種類等因素有關，而與氣樣含水量無關。由于本底值總是又能加在氣樣所含水分的電解電流上，故測定時應從儀器讀數中扣除本底值后方為介質的真實含水量。

1.2.4應用范圍
測量范圍一般為從幾個μL/L(ppmv)到2000μL/L(ppmv)，準確度一般為讀數的5%或滿量程的1%。可以用于多種惰性氣體，某些不與P2O5反應的有機及無機氣體。例如空氣、氮氣、氫氣、氧氣、氬氣、氦氣、氖氣、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、天然氣以及某些氟里昂氣體等。不能用于某些腐蝕性氣體以及能與P2O5發生反應的氣體，例如乙醇、某些酸性氣體、不飽和烴類氣體。
1.2.5優缺點
優點：屬優良測量法，穩定，不漂移。
缺點：電解池壽命有限，需要再生。高濕或低濕(<1ppmv)均會縮短其壽命。低濕時響應慢。對氣體流量要求較高。不能用于某些腐蝕性氣體以及能與P2O5發生反應的氣體。有本底。
1.3氧化鋁電容式濕度計
1.3.1測量原理、結構及應用范圍
該儀器形式繁多，例如便攜式電池操作的、帶微處理器可進行數據處理的、顯示多參數的等等。但其本質是一個電容器，通過將一薄層孔狀的氧化鋁沉積在導電的基體上，然后再在氧化鋁薄層上涂敷一層薄金。導電基體和金薄層就形成電容器的電極。水蒸氣穿過金薄層被孔狀的氧化鋁吸收，這個電容器的阻抗與水分子個數，即水汽分壓成一定的比例。通過測量該電容器的阻抗或電容可獲得水汽分壓，通過換算可得到露點值。結構見圖2-7。
位于鋁和金電極之間的氧化鋁薄層在10-3Pa(約相當于-110℃露點)到水的飽和汽壓的整個范圍內都有響應。由于其對水的強烈的親和力，再加上水的較大的介電常數，使得這類儀器對水有高度的選擇性，而對其它普通氣體及有機氣和液體沒有響應。
在中高濕范圍其準確度一般為±1~±2℃，低濕范圍，比如-100℃時，準確度一般為±2~±3℃。該類傳感器不與烴類氣體、CO、CO2、含氯氟烴氣體發生反應，但對于不同的氣體其漂移不同。對于某些腐蝕性氣體，例如氨、SO3以及氯，則會損壞傳感器，因此應盡量避免。
1.3.2使用注意事項
這類儀器通常的測量范圍為-100℃~+20℃。當被測露點較高時，會使得儀器產生較大的漂移。同時還需注意溫度系數。由于其對水汽分壓產生響應，因此應注意測量時氣體總壓的變化。
避免灰塵、油污，測量時氣體流量較大，一般為3~5(L/min)，甚至更大。
1.4薄膜電容式濕度計
1.4.1測量原理、結構及應用范圍
是使用沉積在兩個導電電極上的聚胺鹽或醋酸纖維聚合物薄膜。當薄膜吸水或失水后，會改變兩個電極間的介電常數。目前還有一種技術是使用耐高溫的熱固性聚合物，可使得這類傳感器在高于100℃的情況下進行連續測量。
1.基體，一般為玻璃，主要作用是支撐傳感器的其它部分。
2.電極中的一個，由導電材料做成。
3.薄膜層。是傳感器的心臟，薄膜吸水的數量與周圍環境的相對濕度有關。這層膜的厚度一般為1~10(µm)。
4.上部電極，對于傳感器的性能同樣起著重要作用。為了得到快速響應，必須有較高的水的滲透性。同時也是導電性材料。
5.上部電極的接觸墊。由于對上部電極的設計有較多的限制條件，因此為了接觸良好，需加上一塊單獨的金屬。
其測量范圍較廣，從-50℃~100℃露點。可用于較廣的溫度范圍內，有時不需要溫度補償。耐高溫的熱固性樹脂允許這類電容式濕度傳感器可以在溫度185℃下進行連續測量，*高使用溫度取決于傳感器的包裝材料。對于熱固性樹脂的傳感器來說，其另一個優點是在-50℃~100℃溫度范圍內，溫度系數較小，因此可以很容易地在很寬的范圍內達到準確測量。

1.4.2優缺點
優點：響應快，溫度及濕度測量范圍寬，線性好，幾乎沒有滯后，穩定性及重復性較好，溫度系數低，成本低。
缺點：基本無。
1.5電阻式濕度計
1.5.1測量原理及結構
其敏感材料是以季銨鹽的聚合物溶液作基體，將這種功能基與樹脂聚合物進行反應，可以產生具有立體三維的熱固性樹脂，具有較好的穩定性。相對濕度的變化可以導致陰極與陽極之間的電阻發生變化。英國肖氏露點儀公司關于露點濕度微量水分析儀各種原理和優缺點總結
1.5.2優缺點
優點：基本上沒有滯后和老化，溫度系數較低，便宜，能耗小。溫度范圍-10℃~80℃，重復性優于0.5%RH，準確度較高，一般為±2%RH，在很窄的范圍內可達±1%RH。

1.6機械式濕度計
1.6.1測量原理及結構
毛發、腸膜、尼龍和聚酰亞胺等有機高分子材料的長度都會隨著相對濕度的變化而發生變化。機械式濕度計就是利用這一特性，將上述材料制成線狀、帶狀感濕元件或涂覆在彈性材料上卷成游絲狀感濕元件，然后通過機械放大裝置將由濕度改變引起的幾何量變化用指針指示出來或用記錄筆記錄下來，從而直接指示相對濕度。適用于實驗室、機房、倉庫、廠房等室內環境溫濕度的測量。
1.6.2優缺點
優點：便宜，對大多數污染物不敏感，不需要電源，可以做長久記錄。缺點：漂移，如果在某一濕度下使用較長的時間會喪失其靈敏度，不能用于0℃以下，響應慢，運輸或振動搖擺會破壞其性能。
1.7干濕球濕度計
1.7.2優缺點
優點：當相對濕度接近100%RH時，可以得到較高的準確度。盡管若濕球溫度計被污染或使用不當時會帶來誤差，但由于該裝置比較簡單，使得維修費用非常低。可以用于室溫高于100℃的場合，是基本測量，穩定性好，簡單，便宜，成本低。

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